预磨光装置检测一般会使用以下仪器：
1. 金相显微镜：用于观察和评估预磨后样品的表面质量和形貌。
2. 扫描电子显微镜（SEM）：通过扫描电子束来观察样品表面的形貌和微观结构。
3. 傅里叶变换红外光谱仪（FT-IR）：用于分析预磨后样品表面的化学组成和表面功能基团。
4. 反射光谱仪：用于测量预磨后样品表面的反射光谱，从而推断其表面性质和光学特性。
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中析研究所
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