1. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察和分析微小尺寸的样品表面形貌和微结构。
2. 电子束退火系统（EBAS）：用于通过加热或电子束照射等方式对样品进行处理，改善材料的性能。
3. 物质表面分析仪（XPS）：用于分析材料表面化学成分和化学状态。
4. 扫描探针显微镜（SPM）：通过探头进行局部力或电流的测量，用于研究样品的表面形貌、电学性质等。
5. 激光粒度分析仪：用激光散射原理测量液体中颗粒的粒径分布。
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