氮气检测仪：用于检测真空处理装置中氮气的含量和纯度。
压力传感器：用于监测真空处理装置的压力变化。
温度传感器：用于测量真空处理装置的温度。
真空度计：用于测量真空处理装置的真空度。
漏率测试仪：用于测试真空处理装置的漏气率。
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中析研究所
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