真空净化设备检测主要包括以下几个方面：
1. 真空度测试：通过测量真空系统中的压力来评估真空度的指标，常用的测试方法有压力变送器法、质谱法等。
2. 清洁度测试：检测真空系统中的气体和固体颗粒的含量，常用的测试方法有气体分析法、杂质颗粒过滤法等。
3. 系统漏率测试：评估真空系统中的漏气情况，检测系统的密封性能，常用的测试方法有泄漏定量法、气体渗漏法等。
4. 泵油检测：检测真空泵的油质和油的污染程度，常用的测试方法有光学显微镜法、红外光谱法等。
5. 泵性能测试：评估真空泵的抽气能力和真空度维持能力，常用的测试方法有抽气率测试、排气时间测试等。
6. 泵系统工作状态测试：检测真空泵系统的运行状态，包括电机运行情况、润滑油温度等。
