1. 栅线间距测量仪：一种用于测量栅线间距的仪器。通过光学或电子技术，可以精确测量栅线间的距离，常用于半导体行业的芯片制造过程中。
2. 显微镜：通过放大和观察样品表面的栅线图案，可以粗略估算栅线的间距。适用于一些简单的检测场景。
3. 扫描电子显微镜（SEM）：具有高分辨率和放大倍数的特点，可以清晰地观察栅线图案，并且可以通过计算机图像处理软件测量栅线间的距离。
4. 准直仪：通过发射直线光来进行栅线间距测量。栅线图案可以放在准直仪上，栅线的间距会产生特定的干涉条纹，通过测量干涉条纹的宽度可以得到栅线间的距离。
