1. 泄露测试：
使用气体泵将真空设备充入一定压力的气体，并观察压力是否有逐渐下降的趋势，如果压力降低超过一定程度，即可判断设备存在泄漏。
2. 高真空度测试：
使用高真空度测量仪器，如电离规、导电规等，进行真空室内气体种类、分子量及其分布的监测，从而验证设备的高真空度。
3. 抽气速率测试：
测量真空泵在一定时间内能够从设备中抽取的气体体积，可以判断真空设备的抽气速率，以及真空泵的工作性能。
4. 吸附测试：
在真空设备内注入一定浓度的吸附物质，经过一段时间后，使用化学分析方法或质谱仪等设备，检测吸附物质的浓度变化，以验证设备对吸附物质的吸附能力。
5. 清洗测试：
对真空设备进行定期清洗，使用试剂或溶剂溶解设备内的污染物质，并使用化学分析方法或质谱仪等设备，检测清洗后设备内的污染物质浓度，以判断清洗效果。
