1. 截面扫描电子显微镜(SEM)
用于观察和分析样品的表面形貌和微观结构，能够提供高分辨率的图像，并且可以进行元素分析。
2. 能谱分析仪
用于分析样品的元素成分，通过测量样品辐射出的特定能量的X射线谱图，从而确定元素的种类和含量。
3. 表面电子能谱仪(XPS)
用于分析样品的表面成分和化学状态，通过测量样品表面辐射出的电子能量谱，可以确定元素的种类、含量和化学键状态。
4. 扫描隧道显微镜(STM)
用于观察材料表面的原子级别结构，通过测量材料表面的电子隧道电流，可以获得高分辨率的原子图像。
