爪式卡盘检测常用的仪器包括：
1. 坐标测量机：可用于测量卡盘的尺寸、形状、并检测其几何参数的精度。
2. 光学显微镜：可用于检查卡盘表面的缺陷、损伤、磨损情况。
3. 影像测量仪：通过图像技术，可以测量卡盘上的特征尺寸、形状、位置等。
4. 硬度测试机：可用于测量卡盘的硬度，以评估其材质的强度和耐磨性。
5. 三坐标测量机：适用于对卡盘进行全面的三维测量，以确定其几何参数的精度。
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