真空淀积过程中，常用的检测仪器包括：
1. 真空计：用于测量真空度的仪器，常见的有热阴极离子化真空计和冷阴极离子真空计。
2. 气体质谱仪：可用于检测和分析真空系统中存在的气体成分。
3. 热脱附仪：用于测量材料表面吸附气体的脱附特性，可以评估材料表面的净化效果。
4. 动态真空漏率测试仪：用于检测真空系统的泄漏率，可以确定系统的密封性。
5. 真空干燥箱：用于在真空环境下对材料进行干燥处理，确保材料表面的干净度。
6. 光谱仪：可以通过分析材料的反射、透射或散射光谱来评估材料的表面性质。
7. 感应耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)：用于检测和分析材料中微量金属元素的含量。
