吸杂检测通常使用以下仪器：
1. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察样品表面的微观结构和缺陷。
2. 能谱仪（EDS）：用于分析样品表面的元素组成。
3. 原子力显微镜（AFM）：用于测量样品表面的形貌和粗糙度。
4. 傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）：用于分析样品表面的化学组成。
5. 拉曼光谱仪：用于分析样品表面的分子结构和化学键。
6. 光致发光光谱仪：用于测量样品的光致发光特性。
7. 热重分析（TGA）：用于测量样品在加热过程中的质量变化。
8. 差示扫描量热仪（DSC）：用于测量样品在加热过程中的热量变化。
9. 四点探针测试仪：用于测量样品的电阻率。
10. 霍尔效应测试仪：用于测量样品的霍尔系数和电导率。
