真空铸锭炉是用于制造高纯度金属材料的设备，常用于半导体材料的生产过程中。在对真空铸锭炉进行检测时，常使用以下仪器：
1. 气体分析仪：用于检测真空铸锭炉内的气体组成和含量，可以确定炉内真空环境的质量。
2. 真空度测试仪：用于测量真空铸锭炉内的真空度，确定是否达到要求的工艺要求。
3. 温度计/热电偶：用于监测真空铸锭炉内的温度情况，确保工作温度在设定范围内。
4. 液氮容器：用于提供冷却液氮，以实现真空铸锭炉的冷却效果。
5. 压力传感器：用于监测真空铸锭炉内的压力变化，确保工作过程的安全可控。
