栅差检测是一种用于测量物体表面平整度和平行度误差的技术。以下是常用的仪器：
1. 测微仪：也称为测微表，用于测量物体表面的微小高度差。通过测量物体上的多个点的高度，可以得到栅差值。
2. 平行仪：用于测量物体表面平行度误差。它包括两个平行的测量臂，可以放置在物体上的不同区域进行测量。
3. 表面粗糙度仪：用于测量物体表面的表面粗糙度。它使用针尖或激光来测量物体表面的起伏和不平整度。
4. 影像测量仪：利用高分辨率的相机和图像处理技术，可以对物体表面进行快速而准确的测量。可用于测量物体的平整度和平行度误差。
5. 光干涉仪：基于干涉原理，用于测量物体表面的薄膜厚度、光学元件表面形貌等。可以精确测量栅差值。
