真空检漏器是一种用于检测真空系统中泄漏的仪器。它可以测量出真空系统中的气体流出速率，从而判断系统是否存在泄漏。
以下是真空检漏器的检测方法：
1. 常规真空检漏法：将真空系统充入一定压力的气体（通常为氦气），使用真空检漏器扫描系统表面，并观察检漏器指示装置的变化。如果有泄漏存在，检漏器会显示泄漏的位置。
2. 气泡检漏法：将真空系统浸入水槽中，通过增压使氦气从泄漏处进入水中，如果真空系统有泄漏，则会在泄漏处产生气泡。
3. 扫描探测法：使用真空检漏器扫描整个真空系统表面，通过检测氦气浓度的变化来判断是否存在泄漏。
4. 高真空质谱法：将真空系统与质谱仪连接，将质谱仪用于检测氦气的浓度变化，从而判断真空系统是否存在泄漏。
