真空检漏检测是一种常用于检测封闭系统或设备中是否存在泄漏的方法。以下是几种常用的真空检漏仪器：
1. 真空泵：用于提供抽真空的能力，常见的有机械泵、分子泵等。
2. 检漏仪器：包括各种检漏仪、传感器和探头，用于检测系统中的泄漏点。
3. 真空计：用于测量真空系统中的真空度，如万能计、电离计等。
4. 漏气量测量仪：用于测量泄漏点的漏气量，常见的有质谱仪、氦质谱检漏仪等。
5. 氦气源：用于氦质谱检漏仪的测试，提供氦气供应。
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