X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
透射电子显微镜：可以直接观察位错的形态和运动。
原子力显微镜：用于研究表面形貌和位错结构。
扫描电子显微镜：可观察位错的分布和形态。
电子背散射衍射仪：分析晶体取向和位错密度。
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中析研究所
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