充氦检测通常使用以下仪器：
1. 氦检漏仪：氦检漏仪是专门用于检测气体泄漏的仪器，其中包括了氦气源和探测器。通过充入氦气和探测器的检测，可以精确地定位到气体泄漏的位置。
2. 真空度测试仪：充氦检测还需要使用真空度测试仪，用于检测被测件的真空度是否符合要求。真空度测试仪通过测量被测件中的气体压力来确定真空度。
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