真空井点检测-检测仪器
真空井点检测可使用以下仪器:
1. 真空度测试仪器:用于测量真空井内的真空度,常见的仪器有阻抗式真空计和热阴极真空计。
2. 漏气检测仪器:用于检测真空井是否有漏气现象,常用的仪器有质谱仪、氦质谱仪和毛细管检测器。
3. 真空泄漏检测仪器:用于检测真空井的泄漏情况,常见的仪器有氦检漏仪和氦气充装仪。
4. 温度测量仪器:用于测量真空井内的温度,常见的仪器有热电偶温度计和红外温度计。
5. 压力传感器:用于监测真空井内的压力变化,常见的压力传感器有压阻式传感器和电容式传感器。
6. 电子显微镜:透过真空井观察样品表面的微观结构形貌,常见的电子显微镜有扫描电子显微镜和透射电子显微镜。