真空氧脱碳检测使用的仪器包括：
1. 氧含量分析仪：用于测量材料中的氧含量，一般采用红外光吸收法或电化学法进行测量。
2. 氧气检测仪：用于测量气体中的氧气含量，一般采用电化学法或红外光吸收法进行测量。
3. 气体质谱仪：用于分析气体组成和氧含量，通过将气体样品离子化并分离质谱进行定量分析。
4. 温度控制系统：用于控制反应室内的温度，确保反应的稳定性和准确性。
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中析研究所
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