检测项目
泄漏率测试：基准值≤5×10⁻¹² Pa·m³/s（动态模式）
压力耐受性：真空模式（0.1~1000 Pa）/正压模式（0.1~2 MPa）
响应时间验证：示踪气体到达时间≤0.8秒
校准曲线线性度：R²≥0.999（1×10⁻⁹~1×10⁻⁴ Pa·m³/s）
检测范围
真空设备：不锈钢腔体、分子泵密封法兰
检测方法
ASTM E499-11(2021)：氦质谱真空箱法泄漏测试标准
检测设备
Leybold PHOENIX L300i：四极杆质谱技术（质量数4amu），最小可检漏率5×10⁻¹³ mbar·L/s
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
