1. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察和分析半导体材料的微观表面形貌和结构。
2. 能谱仪（EDS）：与SEM配合使用，用于分析材料的元素组成和测量元素含量。
3. 热致电子发射能谱仪（AES）：用于表面化学分析，可以检测表面元素的化学状态和原子比例。
4. 稳态和瞬态荧光光谱仪：用于研究材料的发光性质，可以确定半导体材料的能带结构和杂质浓度。
5. X射线衍射仪（XRD）：用于确定半导体材料的晶体结构和晶格参数。
6. 拉曼光谱仪：通过研究物质的散射光谱，用于分析材料的晶格振动状态和杂质浓度。
