检测项目
1.压力范围测量：覆盖110⁻⁵Pa至110⁻Pa的线性响应验证。
2.灵敏度校准：通过标准漏孔法测定电离规输出电流与压力比值（单位：A/Pa）。
3.线性度误差分析：在量程范围内偏差不超过5%。
4.长期稳定性测试：连续运行48小时漂移量≤3%。
5.响应时间测定：从10%至90%满量程信号上升时间≤2秒。
检测范围
1.高真空镀膜设备用冷阴极规管。
2.半导体制造工艺中的干泵系统真空监测模块。
3.航天器推进剂贮箱真空维持装置。
4.同步辐射光源束线真空腔体传感器。
5.低温超导磁体杜瓦瓶真空密封系统。
检测方法
1.ASTME296-17《StandardPracticeforIonizationGaugeTesting》规定基础性能测试流程。
2.ISO3567:2011《Vacuumgauges-Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge》校准方法。
3.GB/T34873-2017《冷阴极电离真空计检定规程》规定计量特性要求。
4.ASTMF1375-92(2020)针对半导体设备用规管的氦气兼容性测试。
5.GB/T32218-2015《真空技术冷阴极电离真空计》性能参数定义标准。
检测设备
1.INFICONColdCathodeGaugeCC-200：量程110⁻⁸至110⁻Torr，带RS485通讯接口。
2.AgilentColdCathodeGauge5711：专用于快速响应场景的磁控管型传感器。
3.LeyboldTURBOVACiONSeries：集成式控制器与规管系统，支持多通道同步采集。
4.EdwardsActiveColdCathodeGaugeXT760：耐腐蚀设计，适用于化学气相沉积环境。
5.PfeifferVacuumPKR251：全量程覆盖（510⁻⁰至1000mbar）的复合型传感器。
6.CanonAnelvaMRG-3G：超高真空兼容磁悬浮转子规对比校准装置。
7.MKSInstrumentsGranville-PhillipsStabil-Ion：带自清洁功能的宽量程传感器。
8.UlvacGI-M2：日本工业标准（JISZ8750）认证的基准校准系统。
9.KurtJ.LeskerColdCathodeGaugeCCG1000：经济型工业级传感器模块。
10.VarianUHV-24P：适用于粒子加速器等极端环境的全金属密封规管。
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
