直片大罩检测，通常用于光学元件的检测，主要用于对直片大罩的透明度、平整度、尺寸、表面质量等参数进行检测。
常用的仪器有：
1. 光谱分析仪：用于测量直片大罩的透光率、反射率、折射率等光学性能。
2. 光学显微镜：用于检查直片大罩的平整度、表面缺陷、气泡等问题。
3. 平度仪：用于测量直片大罩的平整度，可以检测到几个平方毫米范围内的高低差。
4. 三坐标测量仪：用于测量直片大罩的尺寸，可以检测到微米级别的尺寸误差。
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