气体电离检测
检测项目
1. 电离效率:测量单位电场强度下产生的离子对数(范围:85%-98%)
2. 离子迁移率:测定正/负离子在电场中的移动速度(典型值:1.0-2.5 cm²/(V·s))
3. 电离阈值电压:确定气体开始电离的最低电压(范围:200-800 V/cm)
4. 离子浓度分布:分析空间电荷密度(分辨率:±5×10³ ions/cm³)
5. 气体纯度影响系数:评估杂质含量对电离特性的干扰(精度:0.1 ppm)
检测范围
1. 半导体制造用高纯惰性气体(氩气/氮气纯度≥99.999%)
2. 高压开关设备的六氟化硫绝缘气体
3. 医疗CT设备X射线管冷却气体
4. 工业焊接保护气体混合体系
5. 航空航天密封舱体空气组分
检测方法
1. ASTM F1394-2018:半导体制造用气体纯度电离检测规范
2. ISO 19238:2014:放射性环境下气体电离室校准方法
3. GB/T 11605-2021:湿度对气体电离特性影响的测量方法
4. IEC 60092-507:2020:船用电气设备气体绝缘性能测试
5. JJG 1069-2011:电离真空计检定规程
检测设备
1. Thermo Scientific 5110型双极电离分析仪(测量范围:10³-10¹⁰ ions/m³)
2. Agilent 7890B气相色谱-质谱联用仪(纯度分析精度0.01 ppm)
3. Keysight B1505A高压电源系统(输出范围:0-50 kV/DC)
4. MKS 925B型电容式离子流传感器(响应时间<50 ms)
5. Horiba STIC-3000空间电荷密度分析系统(三维分辨率0.1 mm)
6. Bruker Q4 Tof质谱仪(质量范围:1-3000 amu)
7. Fluke 8588A参考级静电计(测量精度±0.002%)
8. Shimadzu GC-2030气相色谱仪(FID检测限1 ppb)
9. TSI 3068B型大气离子计数器(粒径分辨率0.3-2 nm)
10. Pfeiffer HPT200磁悬浮转子真空计(量程10⁻⁴-1000 mbar)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。