检测项目
1. 电离效率测试：测量电子发射电流与气体压强关系曲线（10-6-10-1 Pa范围）
2. 线性度校准：验证0.1-1000 Pa压力范围内的输出信号偏差值（≤±1.5%）
3. 电极污染度分析：通过SEM/EDS测定电极表面沉积物成分（碳含量≤0.3μg/cm²）
4. 热稳定性测试：在300℃恒温环境下连续工作48小时的零点漂移（≤0.5%FS）
5. 电磁兼容性验证：依据IEC 61000-4系列标准进行30V/m射频场抗扰度测试
检测范围
1. 半导体制造用磁控溅射腔体真空监测系统
2. 航天器热真空试验舱压力控制单元
3. 高能物理实验粒子加速器真空管道
4. 光学镀膜设备残余气体分析仪
5. 医用直线加速器治疗舱真空维持装置
检测方法
ASTM E296-17《Standard Practice for Ionization Gauge Calibration》规定电离规管校准流程
ISO 3567:2011《Vacuum gauges - Calibration by direct comparison with a reference gauge》建立比对法标准
GB/T 34874-2017《真空计性能测试方法》明确动态响应时间测试要求
GB/T 32213-2015《真空技术 热阴极电离真空计规范》规定发射电流稳定性指标
JIS B 8656:2019《真空計－放電式真空計の校正方法》提供辉光放电模式测试细则
检测设备
1. INFICON BPG400型全量程校准系统（覆盖1×10-8至1×105 Pa）
2. Agilent UHV-24四极质谱仪（1-200 amu质量数范围）
3. Leybold CTR 90涡轮分子泵组（极限真空5×10-7 Pa）
4. MKS 670B信号调理模块（24位ADC分辨率）
5. Pfeiffer HPT 200磁悬浮转子规（精度±3%读数）
6. Edwards STP-4503氦质谱检漏仪（灵敏度1×10-12 Pa·m³/s）
7. Varian UHV-490多通道采集系统（16通道同步采样）
8. Canon ANELVA MRG-1000残余气体分析系统
9. Kurt J.Lesker AGC-4000自动气体校准装置
10. Shimadzu EDX-8000能量色散X射线光谱仪
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
