杂质半导体检测-检测范围
杂质半导体检测主要应用于半导体行业,用于测试半导体材料中的杂质含量和纯度。
常见的杂质半导体检测范围包括但不限于:
1. 杂质元素检测:对半导体材料中的杂质元素进行分析和检测,如金属杂质、有机杂质等。
2. 纯度检测:测试半导体材料中的纯度,包括有机污染物、无机杂质、气体杂质等。
3. 晶体结构检测:对半导体晶体结构进行分析,包括晶格常数、晶面、晶体质量等方面的检测。
4. 电性能检测:测试半导体材料的电导率、禁带宽度、载流子浓度等电性能参数。
5. 表面污染检测:对半导体材料表面的污染进行检测,如有机污染物、金属污染物等。