物理气相淀积检测是一种用于分析和评估物理气相淀积（PVD）过程和产品质量的技术。
常见的物理气相淀积检测范围包括但不限于：
薄膜厚度测量：用于确定淀积在基底上的薄膜厚度。
表面形貌分析：观察薄膜的表面粗糙度、平整度等。
成分分析：检测薄膜中的元素组成和化学结构。
结晶度检测：评估薄膜的结晶程度。
附着力测试：测量薄膜与基底之间的附着力强度。
硬度测试：测定薄膜的硬度。
电学性能测试：如电阻率、电容等。
光学性能测试：包括折射率、透光率等。
热稳定性测试：评估薄膜在高温环境下的稳定性。
耐腐蚀性测试：检测薄膜对腐蚀介质的抵抗能力。
