圆锥阵检测是一种常用的光学检测方法，它通过使用具有圆锥状结构的探针来实现对样品表面形貌和光电性能的检测。
圆锥阵检测可以应用于多个领域，包括但不限于：
1. 表面形貌检测：
圆锥阵检测可以用于检测表面粗糙度、表面平整度和形状等表面形貌参数。通过探针与样品接触，测量探针与样品之间的高度变化，从而获取样品表面的形貌信息。
2. 光电性能检测：
圆锥阵检测可以用于检测光电学性能，例如光学反射特性、光学透过率和光学散射性能等。通过探针与样品的接触或近场光学技术，测量不同位置的光学信号变化，从而分析样品的光电性能。
3. 表面接触力检测：
圆锥阵检测可以用于检测样品表面的接触力特性。通过探针与样品的接触压力变化，可以测量样品的表面硬度、弹性模量和粘黏特性等。
4. 表面电荷检测：
圆锥阵检测可以用于检测样品表面的电荷特性。通过探针与样品的电荷交换，可以测量样品的表面电势、电荷密度和电荷分布等。
