外延生长膜检测是对在基底上生长的外延膜进行的一系列测试和分析，以评估其质量、性能和可靠性。
膜厚测量：使用光学干涉仪、扫描电子显微镜（SEM）或其他方法确定外延膜的厚度。
成分分析：通过能量色散 X 射线光谱（EDS）、X 射线光电子能谱（XPS）等技术分析膜的化学成分。
晶体结构分析：利用 X 射线衍射（XRD）、拉曼光谱等方法确定外延膜的晶体结构和取向。
表面形貌观察：使用原子力显微镜（AFM）、扫描隧道显微镜（STM）等工具观察膜的表面形貌和粗糙度。
电学性能测试：测量外延膜的电阻率、霍尔效应、电容-电压特性等电学参数。
光学性能测试：测定外延膜的折射率、吸收系数、发射光谱等光学特性。
热稳定性测试：评估外延膜在高温环境下的稳定性和热膨胀系数。
应力测试：测量外延膜中的应力分布，了解其对器件性能的影响。
缺陷检测：通过光致发光（PL）、阴极发光（CL）等技术检测外延膜中的缺陷。
界面特性分析：研究外延膜与基底之间的界面结构和电学特性。
杂质含量检测：确定外延膜中杂质的种类和含量。
扩散长度测量：评估外延膜中少数载流子的扩散长度。
少子寿命测试：测定外延膜中少数载流子的寿命。
量子效率测量：分析外延膜的光发射效率。
载流子迁移率测试：测量外延膜中载流子的迁移率。
能带结构分析：研究外延膜的能带结构和能级分布。
磁学性能测试：如果外延膜具有磁性，进行磁学性能的测试。
声学性能测试：对于某些应用，检测外延膜的声学特性。
可靠性测试：包括高温高湿老化、热循环等，评估外延膜在长期使用中的稳定性。
工艺兼容性测试：确定外延膜与后续工艺的兼容性。
环境适应性测试：考察外延膜在不同环境条件下的性能变化。
批量一致性测试：确保外延膜在大规模生产中的质量一致性。
破坏性物理分析（DPA）：对样品进行解剖分析，检查内部结构和缺陷。
失效分析：分析外延膜在使用过程中出现的失效原因。
仿真模拟：利用计算机模型对外延膜的性能进行预测和优化。
比较测试：与标准样品或其他类似产品进行对比测试。
定制化测试：根据具体需求，设计和执行特殊的测试项目。
