1. X射线衍射法（XRD）：利用X射线与物质相互作用产生的衍射效应，分析锗硅合金的晶体结构和组成。
2. 扫描电子显微镜（SEM）：通过扫描电子束扫描样品表面，并检测所产生的二次电子信号，获得样品的形貌和成分信息。
3. 能谱仪（EDS）：结合SEM使用，检测并分析样品表面的元素组成和含量。
4. 原子力显微镜（AFM）：利用探针扫描样品表面，获取样品的形貌和表面特征信息。
5. 红外光谱仪（FTIR）：检测锗硅合金样品的红外吸收谱，用于分析样品的化学键和功能团。
6. 拉曼光谱仪（Raman）：通过测量样品散射光的频移，分析锗硅合金样品的晶格振动和分子结构。
7. 热重-差热分析仪（TG-DTA）：测量样品在升温过程中的质量变化和热量变化，用于分析样品的热稳定性和热分解特性。
8. 导热系数测量仪：测量锗硅合金样品的导热系数，用于分析材料的热导性能。
