正抗蚀剂检测-检测方法
1. 金属腐蚀试验:将待检测的正抗蚀剂与金属样品接触一段时间后,观察金属样品表面是否出现腐蚀现象,如腐蚀程度、腐蚀速率等。
2. 腐蚀电位测试:使用电化学测试仪器,将待检测的正抗蚀剂溶液与电极接触,测量腐蚀电位的变化,以判断正抗蚀剂对金属的保护作用。
3. 盐雾试验:将待检测的正抗蚀剂施加在金属样品上,置于盐雾试验箱中进行暴露测试,观察金属样品表面是否出现腐蚀现象,判断正抗蚀剂的抗盐雾性能。
4. 扫描电子显微镜观察:将待检测的正抗蚀剂涂覆在金属样品上,使用扫描电子显微镜观察金属表面的细微变化,包括颗粒分布、缺陷、腐蚀情况等。
5. 薄膜测厚: 使用膜厚测量仪器,测量正抗蚀剂在金属表面形成的保护膜的厚度,以判断正抗蚀剂的涂覆效果。