真空计检测-检测方法
真空计是一种用于测量真空度的仪器。下面是几种常用的真空计检测方法:
1. 热电偶法:使用热电偶来测量真空室中的气体温度变化,通过气体的热传导特性来计算出真空度。
2. 涡流法:利用涡流原理来测量真空室中气体的电导率变化,根据电导率的变化来计算真空度。
3. 磁控溅射法:通过测量溅射材料表面的磁场变化来推测真空室中的气体压力。
4. 粘度法:通过测量气体流过特定通道时流体的阻力来计算真空室中的气体压力。
5. 瓦伦法:利用气体放电原理来测量气体压力,以及通过测量气体的电流和电压变化来计算真空度。