真空室检测-检测方法
真空室检测是一种用于检测真空密封性能的方法。以下是常用的真空室检测方法:
1. 常规检漏方法:
通过充入气体或液体,并观察是否有气体泄漏的现象来判断真空室的密封性能。
2. 唬爆法:
将真空室充入高压气体,观察室内是否发生爆炸或气体泄漏的现象。
3. 热导法:
利用热导材料感应真空室内部的温度变化,来评估真空室的密封性能。
4. 蒸发法:
在真空室中放置一定量的液体或固体样品,通过检测样品的蒸发率来判断真空室的密封性。
5. 真空度测试:
通过测试真空室内部的真空度,判断密封性能的好坏。