膜厚测量：通过各种方法测量沉积膜的厚度，如光学干涉法、机械探针法等。
成分分析：确定沉积膜的化学成分，常用方法包括 X 射线光电子能谱（XPS）、俄歇电子能谱（AES）等。
表面形貌观察：使用扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等观察沉积膜的表面形貌和粗糙度。
晶体结构分析：通过 X 射线衍射（XRD）等技术分析沉积膜的晶体结构。
力学性能测试：评估沉积膜的硬度、弹性模量等力学性能。
电学性能测试：测量沉积膜的电阻率、介电常数等电学性能。
热性能测试：研究沉积膜的热导率、热膨胀系数等热性能。
光学性能测试：分析沉积膜的光学透过率、反射率等光学性能。
耐腐蚀性测试：评估沉积膜在特定环境下的耐腐蚀性能。
结合力测试：检测沉积膜与基底之间的结合强度。
