尘埃粒子计数器检测：通过尘埃粒子计数器对空气中的尘埃粒子进行计数和粒径分析，以评估无尘处理的效果。
风速检测：使用风速仪测量空气流速，确保空气流动符合无尘处理的要求。
压差检测：检测不同区域之间的压差，以确保无尘区域与外界保持适当的压力差，防止尘埃进入。
过滤器检测：检查过滤器的完整性和过滤效率，确保其能够有效去除空气中的尘埃。
表面清洁度检测：使用表面清洁度测试仪或擦拭法检测表面的尘埃残留量。
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中析研究所
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