窄波段检测是一种用于分析衬底材料或薄膜的光学性质的方法。其主要应用于材料科学研究和半导体工艺控制中。
窄波段检测的方法有以下几个：
1. 傅里叶变换红外光谱（FTIR）：通过对样品所吸收或散射的窄波段红外辐射进行测量，来分析样品的化学成分和结构特征。
2. 紫外可见光谱（UV-Vis）：利用紫外和可见光波段的电磁辐射与样品的吸收、散射或发射相互作用，测量样品在特定波长下的吸收光谱。
3. X射线衍射（XRD）：通过照射样品表面的X射线，测量所产生的衍射图样，进而分析样品的晶体结构和晶体学参数。
4. Raman光谱：利用激光与样品相互作用，测量样品在不同频率下产生的拉曼散射光谱，从而分析样品的化学成分和分子结构。
