工具显微镜测量法：使用工具显微镜对细模孔进行直接测量。
三坐标测量机测量法：通过三坐标测量机获取细模孔的精确尺寸数据。
光学投影仪测量法：利用光学投影仪将细模孔投影到屏幕上进行测量。
激光干涉仪测量法：采用激光干涉技术测量细模孔的尺寸。
影像测量仪测量法：借助影像测量仪对细模孔进行非接触式测量。
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中析研究所
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