真空镀层检测主要用于检测用真空蒸发或溅射方法制备的薄膜或涂层的性能和质量。
常见的真空镀层检测方法包括：
1. 膜厚测量：通过专用仪器（如膜厚计）测量薄膜或涂层的厚度，以确定是否符合要求。
2. 粗糙度测试：使用粗糙度测试仪器（如原子力显微镜、表面震荡仪）测量薄膜表面的粗糙度，评估表面质量。
3. 组分分析：利用能谱仪或质谱仪等仪器，分析薄膜或涂层的成分和组成，以确保镀层的化学成分符合要求。
4. 光学性能测试：使用光谱测量仪器（如分光光度计、激光干涉仪）测量镀层的反射率、吸收率、透过率等光学性能。
5. 附着力测试：通过拉力试验、刮痕试验等方法，测试镀层与基底的附着力，以确定其耐久性和稳定性。
