气相外延生长是一种在晶体衬底上通过气相反应生长晶体薄膜的方法。该方法可以生长出高质量的晶体薄膜，具有良好的电学、光学和力学性能。以下是一些常见的外延气相生长检测方法：
1. X 射线衍射（XRD）：用于分析晶体结构和薄膜的结晶质量。
2. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察薄膜的表面形貌和微观结构。
3. 原子力显微镜（AFM）：用于测量薄膜的表面粗糙度和微观结构。
4. 光致发光（PL）：用于研究薄膜的光学性质和缺陷态。
5. 电学测试：用于测量薄膜的电学性能，如电阻率、载流子浓度等。
6. 傅里叶变换红外光谱（FTIR）：用于分析薄膜中的化学键和官能团。
7. 二次离子质谱（SIMS）：用于分析薄膜中的元素组成和杂质分布。
8. 椭圆偏振光谱（SE）：用于测量薄膜的厚度、折射率和消光系数等光学参数。
9. 拉曼光谱（Raman）：用于研究薄膜的晶体结构和振动模式。
10. 热重分析（TGA）：用于分析薄膜的热稳定性和分解温度。
