突变结检测-检测方法
电容-电压特性测试:通过测量突变结的电容随电压的变化,来确定突变结的特性。
电流-电压特性测试:测量突变结的电流随电压的变化,以了解其电学性能。
扫描电子显微镜(SEM):用于观察突变结的表面形貌和结构。
原子力显微镜(AFM):可提供突变结表面的高分辨率图像。
X 射线衍射(XRD):分析突变结的晶体结构。
光致发光(PL):检测突变结的发光特性。
二次离子质谱(SIMS):用于分析突变结中的元素组成和分布。
深能级瞬态谱(DLTS):测量突变结中的深能级缺陷。
热激电流(TSC):研究突变结中的陷阱和缺陷。