真空冷凝检测-检测方法
真空冷凝检测是用于检测真空系统中冷凝的方法,常用于检测真空系统的密封性能和真空泄漏情况。
以下是几种常见的真空冷凝检测方法:
1. 气体检漏法:将气体注入真空系统中,观察气体是否泄漏出来。常用的气体有氦气和氢气,使用探测器检测其泄漏情况。
2. 检漏仪法:使用专用的检漏仪器,在真空系统中引入检漏剂,观察检漏仪器是否报警,以及检测到的泄漏量大小。
3. 密封性检测法:将真空系统封闭,观察真空度的变化情况。例如,将真空系统抽成一定真空度后关闭,然后观察真空度是否能够维持在一定范围内。
4. 热导法:通过测量冷凝器表面的热导率变化来判断是否有冷凝物质存在。使用热导检测器进行测量。
5. 高频感应法:通过感应出高频信号的变化来判断是否有冷凝物质存在。使用高频感应器进行测量。