1. 扩散管：用于测量杂质在气体或液体中的扩散速率。通过测量扩散管两端浓度的差异来计算扩散速率。
2. 气相色谱仪：利用气相色谱柱对样品中的杂质进行分离和检测。根据杂质在柱上的停留时间来确定其存在和含量。
3. 液相色谱仪：利用液相色谱柱对样品中的杂质进行分离和检测。根据杂质在柱上的停留时间来确定其存在和含量。
4. 质谱仪：结合质子化技术和质谱分析方法，对样品中的杂质进行定性和定量分析。
5. 电化学检测仪：利用电化学方法，通过测量杂质在电极上的电流或电势来确定其存在和含量。
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