在真空置换硬化法检测中，常用的仪器有:
1. 真空硬度计: 用于测量材料在真空环境中的硬度。它利用一定的压力和载荷对材料表面进行压入和形变，然后测量压痕的尺寸，从而得到材料的硬度值。
2. 真空熔融渗透仪: 使用熔融金属在真空中对材料进行渗透和反应，从而检测材料的抗渗透性能。该仪器通过控制温度和压力，以及记录渗透后的材料性能来评估材料的质量。
3. 真空质谱仪: 用于分析和检测材料中的化学成分和元素的含量。通过将样品置于真空中，然后通过电离和质谱分析技术，可以得到材料中各种元素的相对含量和化学组成。
4. 真空电子显微镜: 可以对材料的微观结构和形貌进行观察和分析。该仪器利用电子束作为探针，在真空中照射样品，通过电子的散射和透射，可以得到材料的显微结构信息。
