真空度测量仪器：真空度测量仪器用于测量真空系统的真空度，常见的仪器包括：热导真空计、湿度真空计、光栅式油浸真空计等。
气体组成分析仪器：气体组成分析仪器用于分析真空系统中气体的组成，常见的仪器包括：气体质谱仪、气体泄露检测仪、气相色谱仪等。
漏率检测仪器：漏率检测仪器用于检测真空系统的漏率，常见的仪器包括：氦气质谱漏率检测仪、漏率试验设备等。
真空泵：真空泵用于抽取真空系统中的气体，常见的泵有：机械泵、根泵、分子泵等。
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