激光扫描测量系统：利用激光束扫描目标物体，通过测量激光反射或散射的光信号，获取目标物体的表面形状和尺寸信息。
光学投影仪：通过光学原理，将目标物体的信息投影到投影屏或者相机上，可用来测量尺寸、形状等参数。
数字投影仪：利用数字图像技术将目标物体的信息投影到屏幕上，通过测量投影图像的尺寸、形状等参数来进行检测分析。
三坐标测量机：利用三个坐标轴上的测量头对目标物体进行点云数据的采集和重构，通过测量点云数据来获取目标物体的三维尺寸和形状信息。
光学显微镜：利用光学原理放大目标物体的细微结构和缺陷，通过观察样品的形貌和颗粒分布等信息来进行检测分析。
电子显微镜：利用电子束取代可见光，对目标物体进行放大和分析，能够观察到更小尺寸的微观结构和缺陷。
扫描电镜：利用电子束和扫描电镜的探测系统对目标物体进行扫描，可获取更高分辨率和更详细的微观结构和缺陷信息。
