真空夹盘检测是一种用于检测物体与夹盘之间真空密封性能的方法，常用于制造业中对零件和产品进行质量检测。以下是常用的仪器：
1. 真空泵：用于产生真空环境，将夹盘与被测物体之间的空气抽出。
2. 压力表：用于测量夹盘内的真空压力，以判断密封效果。
3. 漏气检测仪：用于检测夹盘与被测物体之间的漏气情况，包括漏气率、漏气位置等。
4. 视觉检测系统：可与真空夹盘检测仪配合使用，通过摄像头和图像处理软件，对夹盘与被测物体的接触状态进行实时监测和分析。
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