1. 目视检测：通过肉眼观察被镀物件的表面是否有明显缺陷、气泡、颜色不均等问题，这是最简单且常用的一种检测方法。
2. 压力测量仪器：用于测量真空镀层过程中的气体压力变化，可以通过压力的变化来判断真空系统的密封性。
3. 红外光谱仪：通过测量被镀物件表面的红外吸收谱图，可以分析出真空镀层后的化学元素、化学键以及杂质等信息。
4. X射线衍射仪：通过测量被镀物件表面的X射线衍射图谱，可以分析出被镀层的晶体结构、晶格常数以及晶格缺陷等信息。
5. 扫描电子显微镜：可以对被镀物件的表面形貌进行高分辨率的观察和分析，以判断镀层的质量和均匀性。
6. 厚度测量仪：用于测量镀层的厚度，常用的测量方法有表面剥离法、剪切力法、拉伸法等。
