真空汽化检测-检测仪器
真空汽化检测是一种用于检测材料在真空环境下汽化性能的方法。以下是常用于真空汽化检测的仪器:
1. 真空窑炉:用于提供真空环境,通常由真空室、加热装置和真空泵等组成。
2. 真空计:用于测量真空度,通常有热电阻式真空计、离子表观真空计、热阴极离子真空计等。
3. 气体取样系统:用于提取材料在真空中汽化的气体样品,主要包括气体采集器和气体传输管路。
4. 气体分析仪:用于分析气体样品中的成分和浓度,常见的有气相色谱仪、质谱仪等。
5. 传感器和数据采集系统:用于监测和记录材料在真空汽化过程中的温度、压力等参数。
6. 控制系统:用于控制真空环境、加热温度和采集数据等,通常由计算机和相应的控制软件组成。