远紫外辐射检测是一种测量远紫外辐射（wavelength<200nm）强度的方法，常用于光源、材料、电子产业中的辐射研究和控制。
仪器：远紫外辐射检测仪
工作原理：远紫外辐射检测仪通过探测器对远紫外波段的辐射进行光电转换，然后转化为电信号进行测量和分析。
特点：具有高灵敏度、高分辨率、宽波段范围等特点。
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