真空本体检测通常涉及对真空设备或系统的整体性能进行评估，以确保其达到设计要求和安全标准。
真空度测量：使用真空计测量系统中的压力水平，确保达到所需的真空度。
泄漏检测：通过氦质谱检漏仪等设备检测真空系统中的微小泄漏。
泵速测试：评估真空泵的抽速性能，确保其满足系统需求。
极限压力测试：测试真空系统在长时间运行后能达到的最低压力。
热稳定性测试：评估真空系统在高温或低温条件下的性能稳定性。
材料相容性测试：检查真空系统内材料与所处理气体的相容性。
振动测试：模拟运输或使用过程中的振动，评估真空系统的结构稳定性。
噪音水平测试：测量真空泵等组件在运行时产生的噪音。
电气安全测试：确保真空系统中所有电气组件符合安全标准。
电磁兼容性测试：评估真空系统在电磁干扰下的运行性能。
控制系统功能测试：检查真空系统的控制逻辑和响应时间。
阀门性能测试：测试真空系统中阀门的密封性和开关性能。
传感器校准：确保真空系统中的压力传感器、温度传感器等准确无误。
管道完整性测试：检查真空管道的完整性，包括裂缝、变形等。
耐压测试：对真空系统的密封部件进行耐压测试，确保其在高压力下的安全性。
温度循环测试：模拟温度变化，评估真空系统在不同温度下的性能。
加速寿命测试：通过加速老化过程来预测真空系统的使用寿命。
清洁度测试：评估真空系统内部的清洁程度，以防止污染。
涂层性能测试：如果真空系统内部有涂层，测试涂层的耐磨性和附着力。
抗腐蚀性能测试：评估真空系统材料在特定环境下的抗腐蚀能力。
射线检测：使用X射线或γ射线检测真空系统中的缺陷。
超声检测：利用超声波检测真空系统中的裂纹或其他内部缺陷。
磁粉检测：检查真空系统中的磁性材料是否存在裂纹或其他表面缺陷。
渗透检测：使用渗透液和显影剂来检测真空系统的表面开口缺陷。
微生物污染测试：评估真空系统内部是否存在微生物污染。
化学气体分析：分析真空系统中可能存在的化学气体及其浓度。
分子泵性能测试：如果真空系统使用分子泵，测试其抽速和压缩比。
涡轮分子泵测试：评估涡轮分子泵的转速和抽速性能。
低温测试：在低温条件下测试真空系统的性能，以模拟极端环境。
