尘埃粒子计数器：用于检测空气中的尘埃粒子数量和大小分布。
风速仪：测量空气流速，确保无尘室的气流符合要求。
压差计：检测不同区域之间的压力差，以保证空气流向正确。
照度计：测量光照强度，确保无尘室有足够的照明。
温湿度计：监测室内的温度和湿度。
浮游菌采样器：采集空气中的浮游菌，检测微生物污染情况。
噪声计：测量噪声水平，确保环境安静。
静电测试仪：检测静电水平，防止静电对产品造成损害。
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中析研究所
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